微机械器件相关论文
现阶段我国的科学技术不断发展，社会也在日益进步，微机械技术也在不断发展，微机械技术是致力于研究、生产微机械器件以及微电子机械系......
针对微夹持器中非平行梳状静电驱动方式以及实际静电驱动微机械器件电容边缘效应不可忽略的特点,推导了计及边缘效应梳状驱动器以......
简要介绍了光镊的工作原理及近年来光镊在操纵、驱动双光子光聚合加工出的微机械器件方面的主要应用,对几种典型光驱动方式进行了......
该文在一些成功地微流体器件的设计加工基础上，提出了一种计算机控制的微流量测量与控制系统，对各个微机械器件做了介绍，并分析了系统......
本文对微机械电容、微机械电感、微机械谐振器/滤波器、微机械传输线、微机械天线阵列和微机械开关等RFMEMS器件的特点、研究现状......
日本国家高级工业科学与技术研究所的一个研究组正在利用快速移动的细菌来驱动微转子马达,这是第一个在无机材料中加进了细菌的微......
研究了微陀螺的电容变化率为10-7～10-8时的微弱输出信号的检测技术,这是微机械器件研制中具有普遍性的技术难点。在研究检测微小电......
研究了微陀螺的电容变化率为１０＾７－１０＾－８时的微弱输出信号的检测技术，这是微机械器件研制中具有普遍性的技术难点。在研究检测微小电容变化量的......
简要介绍微系统模拟和有限元计算方法。...
日本国家高级工业科学与技术研究所的一个研究组正在利用快速移动的细菌来驱动微转子马达，这是第一个在无机材料中加进了细菌的微机......
系统分析了微机电系统的概念、特点及国内外先进的微机电系统的典型器件和典型系统,微机电有别于其它制造业的独特的加工工艺,以及......
微系统技术是当今国际上能决定未来竞争的一种超智能崭新技术,自德国首次提出至今还不到8年。然而它都以自身卓绝的功能和飞快的发......
未来的智能微系统下一个10年将看到在电子工业中会有一场革命，集成电路的功能将超出以往处理和储存数据、控制电学函数等所扮演的角......
针对微电子机械系统中微小部件运动状态的测量要求，提出了一种基于光纤Ｍｉｃｈｅｌｓｏｎ干涉仪的测量方法，分析了微机械部件不同运动状态对光信号的影......
微机械技术是研究，生产微机械器件和微电子机械诉关键技术，熟练掌握并不容易。本文总结了三个单位为时数年在微机械技术方面的研究成......
自停止腐蚀工艺是在大规模集成电路工艺基础上发展起来的一项腐蚀工艺, 它利用不同浓度的腐蚀剂对不同掺杂浓度的硅片腐蚀速度差异......
采用面阵CCD作为图像传感器,结合微机械器件结构尺寸的测量特点,建立非接触式无损图像测量系统,并给出了典型平面几何尺寸的测量原......
本文从微电子机械系统（MEMS）的基本加工技术和MEMS器件等方面介绍了MEMS的发展过程;综述了国内外MEMS加工技术，特别是新型MEMS器件与......
