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微区电流分布相关论文

铜互连结构的力学性质及基于互连结构制备的阻变存储器研究

金属化是现代IC工艺的一个重要组成部分,目前铜已经取代铝而成为主流互连材料。铜互连纳米多层膜体系的力学特性,如硬度与弹性模量......

学位

互连结构纳米力学性质阻变式随机存储器微区电流分布氮化铜氮化铝

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