多自由度位移测量相关论文
针对当今制造业多自由度位移测量的方法测量自由度少,安装调试困难等特点,提出利用永磁体产生的空间磁场信息进行多自由度位移解算......
多自由度的精密位移测量广泛应用于半导体及光学元器件的加工定位、细胞的操纵所需的定位及操纵、超精密机床的运动驱动等,是保证......
