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反正切相移细分相关论文
面向精密定位的平面电容式多自由度位移测量传感器关键技术研究
多自由度的精密位移测量广泛应用于半导体及光学元器件的加工定位、细胞的操纵所需的定位及操纵、超精密机床的运动驱动等,是保证......
学位
多自由度位移测量
栅式平面电容位移传感器(EPCDS)
边缘效应
静态和动态位移误差
微弱信号检测
反正切相移细分
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