埋点靶相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

埋点靶相关论文

埋点靶制备工艺研究

研究了激光惯性约束聚变 (ICF)实验中一种基础基准靶埋点靶的制备工艺过程。埋点靶的制备过程主要包括CH膜的制备、埋点的定位和埋......

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埋点靶制备 CH薄膜

埋点靶中CH薄膜的制备工艺研究

CH薄膜的制备是埋点靶制备的关键技术之一，主要研究了钨丝辅助裂解制备CH薄膜的制备工艺。研究表明蒸发舟温度和衬底温度对沉积速率......

期刊

CH薄膜沉积速率埋点靶 Chemical vapor deposition Deposition Evaporators Film preparation

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