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显微喇曼光谱用于对SOI材料局域应力表征
本文从喇曼光谱原理、实验方法和实验手段上阐述显微喇曼在测试SOI材料局部应力中的应用,详细综述了显微喇曼光谱对各种不同SOI材......
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喇曼光谱
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喇曼频率
晶体光学性质
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