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真空物理气相离子沉积超硬薄膜技术及动向(下)

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蒸发材料薄膜技术电弧放电发射电极多弧离子镀电弧蒸发超硬电子束流阴极表面反应蒸镀

光学镀膜技术的新进展

<正> 在各种光学干涉应用和集成光学平面波导中,要求高质量的介质膜.很多无机化合物膜用普通镀膜方法沉积很难达到要求的附着力、......

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