本文主要阐述了反应离子刻蚀机的刻蚀机理，及工作压强、基片温度对刻蚀速率的影响，并根据实验结果分析了其产生的原因。......

本文主要阐述了反应离子蚀机的刻蚀机理,及真空系统中水汽等残余气体、工作压强、基片温度对刻蚀的影响,并着重讨论了基片温度的控......

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提出了一种简单实现PLC直接控制步进电机的方法,设计了直接控制步进电机系统的软硬件。并在反应离子刻蚀机中验证了该方法是可行的......