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刻蚀掺杂相关论文
二氧化钒薄膜制备及掺Au对其相变性能影响的研究
摘要:二氧化钒是一种典型的热致相变化合物。随着温度的升高,在68℃时,二氧化钒会由低温半导体态转变为高温金属态(可逆),伴随着这......
学位
二氧化钒
磁控溅射
刻蚀掺杂
相变
电阻温度特性
透射
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