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摘要：二氧化钒是一种典型的热致相变化合物。随着温度的升高,在68℃时,二氧化钒会由低温半导体态转变为高温金属态(可逆),伴随着这一相变的发生,二氧化钒的电学,光学性质也发生突变。这一特殊的性质使得二氧化钒在很多领域有着重要的应用价值,如热敏电阻材料,光致开关材料,智能玻璃窗涂层,太阳能温控装置等；最重要的是通过掺杂可以改变它的相变温度。二氧化钒作为一种功能型材料,具有很高的研究价值。本文主要探索了用射频磁控溅射制备二氧化钒薄膜的条件以及掺杂Au阵列后对二氧化钒薄膜性质的影响。本文用射频磁控