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减薄抛光相关论文
减薄抛光对钽酸锂晶体热释电系数影响研究
钽酸锂(LT)是一种优良的热释电材料,可以制作成高性能的热释电探测器。由于探测器的电压响应和探测率与红外敏感单元的厚度呈反比,所以......
期刊
钽酸锂
减薄抛光
原子力显微镜
热释电系数
LiTaO3 (LT)
thinning and polishing
AFM
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应用于蓝宝石直接键合的减薄抛光工艺
蓝宝石晶片的总厚度差(TTV)和表面粗糙度是影响蓝宝石键合成败的关键因素。研究了减薄抛光工艺对蓝宝石衬底的作用机理,结合实际加......
期刊
蓝宝石
减薄抛光
总厚度差(TTV)
粗糙度
键合
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