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钽酸锂（LT）是一种优良的热释电材料，可以制作成高性能的热释电探测器。由于探测器的电压响应和探测率与红外敏感单元的厚度呈反比，所以对钽酸锂晶体的减薄成为器件成败的关键因素。采用化学机械抛光方法制作出厚度为30μm的超薄钽酸锂晶体，并使用电荷积分法配合计算机自动测试系统，对不同厚度和表面粗糙度的晶体热释电系数进行了测试和计算。测得最终制备的晶体的热释电系数达到了204μC·m2K-1，显示出良好的热释电性能。