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rf等离子体沉积相关论文
类金刚石碳膜的热学特性
利用珀尔帖效应,采用三夹层技术测量了类金刚石碳(DLC)膜的热传导率,并指出在高离子轰击能量和低CH_4气压下。通过rf等离子体沉积......
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类金刚石碳膜
热学特性
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离子轰击
热传导率
表面分析
石墨结构
金刚石结构
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