在直接耦合式微波等离子体化学气相沉积金刚石膜装置的石英管反应腔加上磁镜场来更好地约束等离子体，使等离子体球成为“碟盘”状，提......

利用实验室自行设计了直接耦合式微波等离子体化学气相沉积（Chemical Vapor Deposition，CVD）金刚石膜装置，并在石英管反应腔加上磁镜场......