MEVVA源相关论文
本文主要介绍了Mevva离子源的凸形引出电极的研制.研究表明凸形引出电极可以完成离子束的强制发散功能,从而在较短距离和较小电极......
金属Ti离子注入,可以改善钢材表面的耐摩擦、耐磨损性能。研究结果表明大注剂量(>1×10~(17)cm~(-2))将会产生明显的效果,而近来研......
采用ＭＥＶＶＡ源离子注入机对高速工具钢（ＨＳＳ）进行了Ｃ、 Ｃｏ及Ｃ＋Ｃｏ双注入，并做了 硬度、摩擦系数测量和磨损实验。Ｃ离子注入剂量３×１０１７ｃｍ－２，能量６０ｋｅＶ；Ｃｏ离子注入剂量 为２×１０１７、 ......
该文研究超大规模集成电路的接触材料TiSi,CoSi,新型光电子材料FeSi,以及宽带半导体材料SiC.研究重点放在以下两个方面:大束流离子......
该文利用金属蒸气真空弧离子源(MEVVA),在不同条件下将Mo,Ni和Y离子升温注入到Al中.X射线衍射分析给出了注入杂质在基体中的相状态......
该文的着重点在于MEVVA源强流离子注入钢改性的研究上.选取高速工具钢(HSS)、碳钢、H13钢作为研究对象,选择一定的注入条件进行离......
研究了M EVVA离子注入机在F e/S i系薄膜制备过程中产生的颗粒污染问题以及颗粒污染对薄膜质量带来的影响。选取不同制备条件下的F......
采用MEVVA源将低能量(40 keV)C离子注入单晶硅,用Raman光谱和SEM对试样进行了表征,用纳米压痕仪和球-盘式摩擦磨损试验机分别测试......
研究采用了ＭＥＶＶＡ源等离子体浸没离子注入的方法，利用钛的等离子体的沉积与自身离子的注入，形成ＩＢＡＤ效应。在氮气气氛环境下，在ＡＩＳＩ３０４不锈钢表面获得了......
用MEVVA离子源将稀土Nd离子注入到硅基片中，可以合成出性能良好的钕硅化合物。用电子显微镜和X射线衍射对样品进行了观测，随着退火温......
采用金属蒸汽真空弧（Metal Vapor Vacuum Arc，MEVVA）离子源注入技术，将Ni离子注入到类金刚石（Diamond．1ikeCarbon，DLC）膜中，并重复沉积和注......
给出了一个计算强束流离子注入下杂质浓度分布的数学模型.利用有限差分法,给出了该模型的数值解及计算程序.用该程序对Mo,W等注入......
采用了卢瑟福背散射，俄歇电子能谱和Ｘ射线衍射等现代表面分析技术，研究了Ｔａ离子米注入和Ｔａ＋Ｃ双注入的钴粘结碳化钨硬质合金表面的微化学和微......
介绍了阴极真空弧沉积中，弧源在阴极接地和阳极接地２种不同工作状态下的工作特性，发现阳极接地时，因沉积靶室入口法的第二阳极作用。聚......
采用改进了的MEVVA源阴极对H13钢进行了C+Mo共注入,并做了X射线衍射分析、电化学测量和表面形貌分析.实验结果表明,C+Mo共注入后H1......
采用ＭＥＶＶＡ源离子注入机对高速工具钢进行了Ｃ，Ｃｏ及Ｃ＋Ｃｏ注入，并做了硬度，摩擦系数测量和磨损实验，Ｃ离子注入剂量３×１０＾１７ｃｍ＾－２能量６０ｋｅＶ，Ｃｏ离子注入剂量为２×１０＾１７，４×......
利用ＭＥＶＶＡ源引出Ｍｏ离子和Ｃ离子，对６５Ｎｂ钢进行不同剂量的离子注入，通过硬度测量、ＸＲＤ、ＡＥＳ等方法研究了注入前后６５Ｎｂ钢改性层的性能、成分及相组成的变化。试......
针对几种钢部件件的磨损，耗能问题，本课题组应用ＭＥＶＶＡ源离子注入技术，对Ｈ１３、Ｔ１０Ａ、ＨＳＳ、Ｃｒ１７等钢材料进行了离子注入表面改性研究，得出了提高钢耐磨性和改......
为解决麦瓦(MEVVA)离子源束流的径向分布均匀性问题,采取了加入会切磁场的方法. 会切磁场的安放位置不同得到束流分布均匀性的程度......
利用金属蒸汽真空弧(MEVVA)源离子注入机在溶胶凝胶法制备的TiO2薄膜上注入V+.薄膜表面的形态和结构分别用扫描电子显微镜(SEM)和X......
详细介绍了50型强束流、大束斑MEVVA源注入机的结构和各项性能.50型MEVVA源注入机是北京师范大学低能核物理研究所于九五期间承担......
利用英国avantes公司生产的AvaSpec-2048FT-8-RM型光栅光谱仪对金属蒸汽真空弧（MEVVA）源产生的金属镍等离子体的发射光谱进行采集,并......
期刊
作者利用中国第一台金属蒸汽真空弧离子源(MEVVA源)引出的钼离子对HI3钢进行了不同束流密度下的离子注入。根据此源的特点,提出了......
