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HV-9000型精密平坦化装置
SONY公司在该装置中所采用的半固定颗粒研磨轮与CMP技术中所用的研磨装置相似,对半导体制造中单元分离、层间绝缘膜平坦化等工艺残留台阶误......
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HV-9000新型氧乙炔火焰粉末多功能喷枪的研制
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