等离子体浸没相关论文
脉冲偏压电源在等离子体表面改性处理技术应用中起到很重要的作用.偏压可以有效调整载能粒子束流密度、工件表面状态、膜基结合力......
等离子体浸没离子注入作为一种新的离子注入技术提出已有近20年.该技术的最大特点是利用等离子体鞘层进行离子的加速与注入,因而适......
本文描述了用金属等离子体浸没离子注入与沉积(MepⅢ&D)技术,在GCr15轴承钢表面制备AlN薄膜.在研究过程中首先对处理工艺参数进行......
在SOI材料的制备技术中,为了减少离子的浪费和提高注入能量,避免采用更大的真空室和高压脉冲调制器,本文提出了直流等离子体浸没式......
第三代多功能等离子体浸没离子注入(PIII)装置已于2000年6月在成都,西南交通大学正式验收,并被用于材料表面改性的研究与开发工作.......
在卫星、宇宙飞船等航天器上，金属材料由于具有可焊接、成本低、使用方便等优点常用于密封壳体结构和承力结构件中。等离子体浸......
为了实现装置工艺参数的可重复性，并有效掏设备运行过程中由射频源、微波源、金属源和高压脉冲电源产生的种种上电磁干扰对设备性能......
在生物植入材料领域,Ti6Al4V合金以其高比强度、低弹性模量和密度、良好的加工性能、优越的耐蚀性能、以及良好的生物相容性等特点......
近年来,CoCrMo合金凭借其良好的生物相容性和力学性质逐渐成为骨科植入材料的首选,广泛应用在临床硬组织和器官的替换中,然而Co, C......
采用由阴极真空弧等离子体源、负脉冲高压靶台和磁过滤系统组成的金属等离子体浸没动态离子束增强沉积系统 ,对 30 4L不锈钢进行金......
采用由阴极真空弧等离子体源、负脉冲高压靶台和磁过滤系统组成的金属等离子体浸没注入系统 ,实现Ta+ 和Ti+ 浸没注入 ,并对离子注......
聚丁二酸丁二醇酯(PBS)是一种九十年代开发成功的新型可降解脂肪族聚酯，其具有优异的成型加工性和力学性能，且作为生物医用材料具有......
本文从分析等离子体浸没离子注入技术(Plasma Immersion Ion Implantation，PnD目前存在的改性不均匀及改性层较薄的问题入手，针对等......
ZnO是一种Ⅱ-Ⅵ族化合物半导体材料,具有直接宽带隙(室温下3.37eV),属于六方纤锌矿结构。ZnO在光电、压电、热电、铁电以及光电器......
该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生......
利用等离子体浸没离子注入(PⅢ)的束发散角适中这一优点,我们在高深宽比的Si沟槽中进行了硼的保角掺杂。结染色后用扫描电镜(SEM)......
一台用于集成电路制造的等离子体浸没离子注入反应装置(PⅢ:Plasma Immersion Ion Implantation)已研制成功。用此系统,实现了惰性......
该文研究了在等离子体浸没离子注入（ＰＩＩＩ）中介质材料（高聚物、半导体等）为被注入对象时，其周围离子体鞘的扩展厚度和电势特征。在常规应用中......
采用流体模型对圆筒内表面PIII过程进行了二维数值模拟 ,研究了筒内鞘层扩展和交叉重叠对内表面注入的注入能量和注入剂量的影响 .......
采用由阴极真空弧等离子体源、负脉冲高压靶台和磁过滤系统组成的金属等离子体浸没动态离子束增强沉积系统，对３０４Ｌ不锈钢进行金属等离子......
研制单位：中国科学院微电子研究所产品介绍：研制产品针对等离子体浸没式离子注入技术（Plasma Imersion Ion Implantation，简称PⅢ），该技......
采用新改进的阴极弧金属等离子体源，对９Ｃｒ１８轴承钢进行了金属等离子体浸没离子注入（ＰⅢ）处理，首先将Ｔｉ、Ｍｏ和Ｗ离子分别注入到９Ｃｒ１８钢的表面，然后再对其进......
应用等离子体浸没Pd离子注入技术和Cu无电镀实现了Cu互连的选择性电镀。Pd原子从带负电压的靶上被溅射出来,然后在ArECR等离子体中......
采用等离子体浸没离子注入（PⅢ）技术,通过SiF<sub>4</sub>预非晶化后进行BF<sub>3</sub>掺杂制作了亚100nmP<sup>+</sup>/n结。这种......
我校材料系黄楠教授所领导的生物材料表面工程研究室的研究人员不久前采用国际最先进的全方位表面改性技术——等离子体浸没离子注......
采用不同怕等离子体浸没离子注入工艺对９Ｃｒ１８轴承钢进行了氮离子注入，结果发现，不同条件下的氮离子注入均能显著提高９Ｃｒ１８钢表面的显微硬度和耐......
报道了等离子体浸没Ｎ~＋注入豌豆种子后，引起幼苗过氧化物酶同工酶和酯酶同工酶的酶带数量和活性均起变化；过氧化物酶的变化与离子注入......
等离子体浸没离子注入（ＰＩＩＩ）为解决束线离了注入所难以解决的圆筒状零件内表面注入处理问题提供了新要可能途径，但在应用中却受到注入能量......
