束斑尺寸相关论文
微米级生产线实用化电子束曝光机研制成功５月２３日中国科学院组织有关专家对电工研究所完成的微米级实用化电子束曝光机进行了技术鉴定......
工作电压低于５ｋＶ的扫描电镜分析技术称为低能扫描电子显微术，它是场发射扫描电镜仪器及其应用技术的发展方向之一。文中综述了这种分析......
作者在研制激光数字点阵全息图的基础上，尝试使用电子束刻蚀系统制作数字像元全息图以期用于防伪和保密模压全息图的制作。并对电子......
主研人员：王军陈文彬王琼华饶海波周敏刘玉华高亮度高分辨率YAG投影管用电子枪YAG投影管的尺寸分别为51cm和76cm，其发光屏以YAG单晶......
在阳极孔的发散作用下,电子束通过阳极孔后形成新的会聚半角γ_0。γ_0角直接影响电子光学系统的成象性能和电子束的穿透能力。本......
本文分析了电子束焊接装置用电子光学系统束斑形成的物理因素,通过分析及大量计算得到了电子束会聚半角、光路尺寸和透镜参量的选......
用分析透射电镜H-800的SEI附件观察了多种钢铁薄膜样品,看到了在薄膜表面的碳化物和其它第二相的二次电子象。这些薄膜样品是供主......
本文从理论和实验两方面,对20钢电子束相变硬化处理表面的热传导问题进行了研究.建立了移动半无限大工件、表面受均匀矩形热源加热......
使用粒子模拟程序对30 fs超短超强激光在均匀与抛物型两种密度分布等离子体中的传输,以及在稳定传输状态下尾场的电子注入与加速形......
本文通过优化晶体弯曲过程的旋转点 ,理论上分析了弧矢聚焦晶体弯曲原理、弯曲所造成的系统误差以及弯曲过程中晶体面形精度的变化......
一、问题的提出与装置原理扫描电子显微镜的二次电子像的分辨率,对同样的样品来说,主要取决于电子探针的直径,而电子探针的最小直......
电子与靶相互作用产生X射线源的正确模拟是精确模拟辐射照相过程的关键。在说明击靶电子束的束斑尺寸和发射度两个重要参数及其相......
热波成像技术是人们根据热波形成的机理 ,并与现代扫描电镜实验技术相结合而进行的一种显微成像技术。该技术对物质表面和亚表面缺......
作为一种典型的准一维纳米材料,纳米线具有纳米材料所特有的小尺寸效应或纳米曲率效应,经表面修饰的纳米线一般具有不同于普通纳米......
1977年,我厂研制成功了EQD-6型电子枪,在这基础上,我们对原 EQD-6型电子枪结构方面作了重大改进,于1982年,又成功地研制了改进型的......
本文介绍三种变形电子束(可变矩形,可变条形,可变园形)曝光技术的原理及目前发展情况。比较详细地叙述了EL—3,VLS—1000,Waferwr......
光曝光技术的极限是0.5μm,人们期待着X射线曝光技术作为可以描画0.5μm以下图形的下一代技术。最近X射线曝光技术进展明显,听到......
回旋加速器本年度以质子6.5MeV、氘核13MeV、α粒子26MeV运行。在日常维修中,处理了离子源灯丝杆因弧压较高使绝缘损坏而造成漏气......
本文扼要介绍了一台双离子束实验装置离子光学系统的计算机辅助设计。该设计用传输矩阵方法和TRANSPORT程序完成。
This article ......
基于HI-13串列加速器的重离子辐照专用装置已在串列二厅安装完毕并通过了真空测试等离线调试阶段。在串列加速器安改后即可进行在......
介绍了Ｘ射线毛细管光学元件的原理、特征和类型及其在蛋白质晶体学、微束衍射、微束光谱等方面应用新进展．
The principle, charact......
本文介绍了扫描电镜的工作原理、特点以及影响扫描电镜图像质量的工作参数.利用FEI Nova NanoSEM450型场发射扫描电镜分别讨论了加......
@@阴极荧光（Cathodoluminescence.CL，如图l示）和电子束诱导感生电流(Electron beam inducedcurrent.EBIC)是通常安装在场发射扫描电镜......
近年来，利用飞秒红外激光在通信光纤内刻写光纤光栅(FBG)成为研究热点。用飞秒激光逐点刻写光纤光栅具有无掩模、设计灵活、无需载......
采用数字化电子光学设计软件计算了扫描电子显微镜 (SEM)物镜的光学特性并能在满足给定的条件下优化物镜设计。本文通过采用已发表......
采用数字化电子光学设计软件计算了扫描电子显微镜(SEM)物镜的光学特性并能在满足给定的条件下优化物镜设计.本文通过采用已发表的......
相比于传统光子放疗,重离子束放射治疗具有物理学和生物学两方面的优势:一是重离子束具有独特的倒转深度剂量分布(Bragg峰);二是传......
采用数字化电子光学设计软件计算了扫描电子显微镜(SEM)物镜的光学特性并能在满足给定的条件下优化物镜设计.本文通过采用已发表的......
