微机械加速度传感器是一种测量惯性力的传感器,具有体积小,重量轻、低成本、易于批量成产等优点。谐振式传感器输出频率信号,不需......

本文介绍了一种利用MEMS技术中的三维成形腐蚀技术及多掩膜和无掩膜腐蚀工艺研制而成的结构新颖的硅微电容式加速度传感器,并对其......

硅微加速度传感器是微型机电系统(MEMS)领域里发展最早、最为成功的典范之一.从90年代初开始,部分产品进入批量生产.然而随着科学......

为了解决“三明治”这类微器件制作的深窄槽结构成型问题，运用无掩膜湿法腐蚀技术，成型悬臂梁雏形后再成型质量块，较好地实现了悬臂梁......

各向异性KOH溶液腐蚀硅尖具有简单、易于实现、成本低廉、（100）晶面腐蚀速率均匀等优点。然而在40％KOH溶液中削角速率和（100）晶面的腐蚀......

自从20世纪80年代以来，原子力显微镜(Atomic Force Microscope，AFM)已成为表征材料微区表面形貌的有力研究工具。对力敏感的易弯曲的......