多掩膜相关论文
本文介绍了一种利用MEMS技术中的三维成形腐蚀技术及多掩膜和无掩膜腐蚀工艺研制而成的结构新颖的硅微电容式加速度传感器,并对其......
硅微加速度传感器是微型机电系统(MEMS)领域里发展最早、最为成功的典范之一.从90年代初开始,部分产品进入批量生产.然而随着科学......
本文提出了一种新颖的MEMS多掩膜工艺,实现了带有大台阶和大深宽比窄槽的衬底上的体硅精细加工。通过薄胶多次光刻在衬底上制作出......