多层膜设计相关论文
类金刚石膜是由sp2键合的石墨与sp3键合的金刚石组成的一类碳膜,具备石墨的润滑特性和金刚石的高硬度,在降低摩擦因数、耐磨等方面......
利用薄膜光学理论及材料在软X射线波段的原子散射因子,设计了大批量的软X射线多层膜的计算程序,对常用材料的膜系配对进行了优化设......
基于高反射膜层和Gires-Tournois(G-T)腔, 优化设计了一对低振荡高色散镜。该色散镜对的中心波长为800 nm, 能够在680~920 nm的带......
为降低X射线超反射镜镀膜误差导致的光谱性能退化、提高其可制备性,提出了基于多目标遗传算法的X射线超反射镜鲁棒性设计方法,将X......
结合等离子金属光栅原理和多层膜理论，提出－种金属－介质－金属多层光栅结构以增强透射光的聚焦效应。利用时域有限差分（FDTD）法对该多层结......
极紫外多层膜利用各个界面反射光的相长干涉,在极紫外波段获得了高反射率,已成为极紫外光刻设备中反射式光学系统的核心元件.本文......
提出了一种基于实数编码量子进化算法(RQEA)的宽角度极紫外(EUV)多层膜理论膜系的设计方法。采用基于实数编码的遗传算法(RGA)和RQ......
文中考虑了材料的相对导磁系数对材料复数折射率的贡献,使分层介质系统的光学迭代法更具普遍性;还系统地研究了理想X射线多层膜的......
为了研究常用间隔层材料的软X射线多层膜的材料设计，利用Livermore实验室提供的软x射线多层膜设计程序进行模拟计算，得到了软x射线波......
综述透明导电薄膜的性能、种类、制备工艺、研究及应用状况，重点讨论掺铝氧化锌（AZO）薄膜的结构、导电机理、光电性能和当前的研究焦......
在可持续发展的低碳经济中,太阳能资源作为一种丰富和清洁的新能源,正日益受到当今世界的广泛关注。太阳能的光热能量转换是一种重......
为提高基于量子进化算法（QEA）在宽带极紫外（EUV）多层膜设计中的求解效率和精度，本文利用宽带多层膜的光学性能评价函数的梯度信息改进QE......
极紫外(EUV)宽带多层膜的光谱性能对膜厚控制精度要求较高,仅由时间控制膜厚的镀膜系统难以满足其精度控制要求。本文提出了基于进......
信息社会的飞速发展迫切需要高密度记录材料的出现。尽管Co1-xPtx合金薄膜由于具有容易制备、化学性能稳定、较高的各向异性（Ku＝0.4～2......
表面等离子体共振(surface plasmon resonance,SPR)检测技术是一种高灵敏与无须标记的传感方法,被广泛应用于生物、化学等研究领域......
