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[会议论文] 作者：朱蓉辉,
来源：第十三届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议暨第九届全国固体薄膜学术会议 年份：2004
晶体加工中新技术新工艺不断涌现,其中不少是纯物理的清洗方法,因此具有较广的应用范围而不受清洗对象的制约,消耗成本低等优点,在此对目前新出现的一些可应用到抛光晶片及外延片方面的清洗技术做一个概括性的介绍和简述,希望能在清洗工艺的创新以及设备的选择......
[会议论文] 作者：朱蓉辉,
来源：第十三届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议暨第九届全国固体薄膜学术会议 年份：2004
多线切割机用于晶圆切割具有表面损伤层浅,切缝窄,切割速度快(片平均)等优点在半导体、电子行业的应用已经有较长的时间了,本文就多线切割如何获得好的切割质量以及在实际中的应用遇到的问题做一些介绍和分析,并就其结构和控制方面提出一些改进建议,以下均以日......
[会议论文] 作者：郑红军;朱蓉辉;赵德刚;,
来源：第十四届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议 年份：2006
众所周知,采用LEC方式生长的砷化镓晶体内在应力大于其它生长方式约10倍左右,切割中如何降低"裂纹"断底":对其应力进行控制,已是目前大直径LEC薄片加工中重要问题,本文重点对...
[期刊论文] 作者：卜俊鹏,郑红军,赵冀,朱蓉辉,尹玉华,
来源：半导体学报 年份：2003
在不同弹性抛光布、不同氧化浓度、不同 p H值的抛光液等条件下进行了化学机械抛光试验 ,并用 TEM测量了晶片亚表面损伤层厚度 .研究发现抛光布的弹性及抛光液的氧化和化学去...
[期刊论文] 作者：朱蓉辉,曾一平,卜俊鹏,惠峰,郑红军,赵冀,高永亮,,
来源：半导体学报 年份：2008
通过使用激光散射扫描的方法,定性地研究非掺杂半绝缘LEC砷化镓（100）方向生产的晶体中砷沉淀在晶体径向截面分布,得到了在一种特定热场中生长的晶体中存在4个砷沉淀的聚集中心...
[期刊论文] 作者：朱蓉辉,曾一平,卜俊鹏,惠峰,郑红军,赵冀,高永亮,
来源：半导体学报 年份：2007
通过激光散射扫描的宏观检测方法检测非掺杂LEC半绝缘GaAs晶片(100)晶向的抛光片颗粒度时,意外发现一种源自晶体的微缺陷,该微缺陷在晶体中有四个聚集团,这为认识研究此类缺...
[会议论文] 作者：朱蓉辉,曾一平,卜俊鹏,惠峰,郑红军,赵冀,高永亮,
来源：第十四届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议 年份：2006
人们对于砷化镓晶体中存在的各种微缺陷研究已经有很长的时间了,以往通常都是主要利用电子显微镜,透射电镜,扫描电镜、X射线异常投射形貌技术以及X射线能量散射谱仪等着重微区分析的手段分析样品,主要集中在微小区域里,观察和分析视场中发现的物体成分和尺寸等......
[期刊论文] 作者：朱蓉辉，曾一平，卜俊鹏，惠峰，郑红军，赵冀，高永亮，ZhuRonghui，ZengYiping，BuJunpeng，HuiFeng，ZhengHongjun，ZhaoJi，GaoYongliang,
来源：城市道桥与防洪 年份：2007
该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生、测量监控等方面人手,介绍了S226海滨大桥...
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