【摘 要】
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本文介绍了一种测量部分相干照明条件下表征物镜对基频响应的表观传递函数的方法。这种方法是将干涉仪得到的出瞳处波面的干涉图用Zernike圆多项式逼近,求得波差函数。然后根
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本文介绍了一种测量部分相干照明条件下表征物镜对基频响应的表观传递函数的方法。这种方法是将干涉仪得到的出瞳处波面的干涉图用Zernike圆多项式逼近,求得波差函数。然后根据部分相干理论计算出表观传递函数。
This paper presents a method to measure the apparent transfer function of the objective to the fundamental frequency response under partially coherent illumination. In this method, the interferogram of the wavefront at the exit pupil obtained by the interferometer is approximated by a Zernike circle polynomial to obtain the wave difference function. Then the apparent transfer function is calculated according to the partial coherence theory.
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