涂层的辉光放电光谱分析及精密度

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本文研究了辉光放电光源的基本特性并应用到涂层表层的组成分析,分析结果和电子探针的结果相一致,证明本方法可靠。辉光放电光源分析的精确度比火花光源有显著的提高,如配用光量计,可进行高含量元素的分析。 In this paper, the basic characteristics of the glow discharge light source were studied and applied to the composition analysis of the coating surface. The analysis results are consistent with the results of the electron probe, which proves that the method is reliable. Glow discharge light source analysis accuracy than the spark light source has significantly improved, such as with the light meter, high content of elements can be analyzed.
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