【摘 要】
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大面积钙钛矿电池组件效率一直比小面积电池最高效率低10%左右，其中透明导电氧化物（TCO）电极的横向电阻是构成串联电阻增加的主要因素。本文采用湿法刻蚀的方法在超白玻璃上制备了深达1～2 μm的凹槽，横向宽度最小为10 μm，随后蒸镀金属铝，射频溅射沉积氧化铟锡（ITO）薄膜，通过调控刻蚀各参数，得到良好的铝栅极形状。对比分析有无铝栅极的ITO薄膜，结果表明，有铝栅极的ITO薄膜相较无铝栅极的ITO
【基金项目】
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the Science and Technology Department of Hubei Province（2019AAA020）； Wuhan Science and Technology Project of China（2019010701011420）；
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大面积钙钛矿电池组件效率一直比小面积电池最高效率低10%左右，其中透明导电氧化物（TCO）电极的横向电阻是构成串联电阻增加的主要因素。本文采用湿法刻蚀的方法在超白玻璃上制备了深达1～2 μm的凹槽，横向宽度最小为10 μm，随后蒸镀金属铝，射频溅射沉积氧化铟锡（ITO）薄膜，通过调控刻蚀各参数，得到良好的铝栅极形状。对比分析有无铝栅极的ITO薄膜，结果表明，有铝栅极的ITO薄膜相较无铝栅极的ITO薄膜，平均透过率下降约3.5%，横向电阻从17.4 Ω降至2.4 Ω，得到明显改善。并可通过调控刻蚀厚度，可使横向电阻进一步降低，从而显著提升ITO薄膜在太阳能电池领域里作为透明导电电极时横向电子收集能力，对以玻璃为基底的薄膜太阳能电池大面积产业化应用提供了可能。
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