高纯电子特气六氟丁二烯纯化技术的发展

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六氟丁二烯(C4F6)是一种新型的含氟电子气体,具有极其优越的蚀刻性能,且对环境友好。本文章首先介绍了C4F6的物理性质和蚀刻特点,进而论述了我国及国外六氟丁二烯纯化技术的发展现状,为我国的C4F6纯化技术提供一定的理论依据。
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