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分析了多晶硅生产过程循环氢中氮含量升高的原因。从三氯氢硅供料、还原工序工艺优化调整、压缩机检维修投用等方面采取了措施，有效降低了循环氢中氮含量，提高了循环氢气的质量，有助于提升多晶硅产品的品质。
多晶硅循环氢中氮含量升高原因及解决措施
【摘 要】
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分析了多晶硅生产过程循环氢中氮含量升高的原因。从三氯氢硅供料、还原工序工艺优化调整、压缩机检维修投用等方面采取了措施，有效降低了循环氢中氮含量，提高了循环氢气的质量，有助于提升多晶硅产品的品质。
【机 构】
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洛阳中硅高科技有限公司
【出 处】
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云南化工
【发表日期】
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2022年08期
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