表面分析讲座 第四讲 俄歇电子谱仪(二)

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在固体表面的俄歇分析中,应用筒镜型能量分析器(CMA)取得俄歇微分谱是普遍采用的灵敏度较高的方法。但是,如何由测出的俄歇峰的位置、峰高、峰形正确地得出关于待测的固体表面的更多信息,既有实验方法,也有数据分析和处理问题。 1.特征俄歇峰的分析 In the Auger analysis of solid surface, the application of the cylinder-type energy analyzer (CMA) to obtain Auger differential spectroscopy is a commonly used method with higher sensitivity. However, how to determine the location, peak height, and peak shape of the Auger peaks correctly gives more information on the surface of the solid to be measured, both experimental and data analysis and handling issues. 1. Features Auger peak analysis
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