【摘 要】
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本文提出了一种新型的基于硅通孔(TSV)转接板的片上集成电感,可以通过减少基板损耗实现高品质因素.该新型螺旋电感直接集成在硅基板上,采用了背面镂空的结构.通过仿真设计,制作并测试了悬浮式螺旋电感样品,与传统螺旋电感器相比,与传统螺旋电感相比,在0.1GHz-20GHz频率范围最大Q值增加了210％.该结果说明了片上集成的悬浮电感在射频电路中的具有良好的应用前景.
【机 构】
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成都嘉纳海威科技有限责任公司,成都 610097;青海民族大学,西宁 810007
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本文提出了一种新型的基于硅通孔(TSV)转接板的片上集成电感,可以通过减少基板损耗实现高品质因素.该新型螺旋电感直接集成在硅基板上,采用了背面镂空的结构.通过仿真设计,制作并测试了悬浮式螺旋电感样品,与传统螺旋电感器相比,与传统螺旋电感相比,在0.1GHz-20GHz频率范围最大Q值增加了210％.该结果说明了片上集成的悬浮电感在射频电路中的具有良好的应用前景.
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