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介绍一种用于微波集成电路的新技术——中膜技术.它具有厚、薄膜技术的优点.用它制作的器件具有电性能好,损耗小,成本低,分辨率好等优点,经过老化和温度循环等实验证明其附着力好,可靠性高.在一些器件的制作上,它可以取代薄膜技术.中膜技术的研制成功,为微波集成电路器件的制作提供了新的工艺途径.
微波集成电路中膜技术研究
【摘 要】
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介绍一种用于微波集成电路的新技术——中膜技术.它具有厚、薄膜技术的优点.用它制作的器件具有电性能好,损耗小,成本低,分辨率好等优点,经过老化和温度循环等实验证明其附着
【机 构】
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成都电子工业部第二十九研究所
【出 处】
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电子对抗技术
【发表日期】
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1995年6期
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