【摘 要】
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理论计算给出了带盖砂磨石英箱内扩散源蒸汽的泄漏率和箱子容积、缝隙宽度,蒸汽分子在缝隙中运动的相互关系。实验证实了ZnP_2作为GaP LED高表面浓度扩散源的定压箱法扩散是
【机 构】
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兰州大学物理系,兰州大学物理系,兰州大学物理系
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理论计算给出了带盖砂磨石英箱内扩散源蒸汽的泄漏率和箱子容积、缝隙宽度,蒸汽分子在缝隙中运动的相互关系。实验证实了ZnP_2作为GaP LED高表面浓度扩散源的定压箱法扩散是可采用的。用设计加工的石英箱,对样片进行了多次定压箱法扩散,其结果与闭管扩散一致,且具有良好的重复性。
The theoretical calculation shows the correlation between the leakage rate of the diffusion source steam and the volume of the box, the width of the slit and the movement of the steam molecules in the slit. Experiments confirmed that ZnP_2 as GaP LED diffusion of high surface concentration of constant pressure box diffusion method can be used. With the design and processing of quartz box, the sample was repeatedly pressure box method of diffusion, the result is consistent with the closed tube proliferation, and has good repeatability.
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