【摘 要】
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激光显微光谱仪是一台可供金属、非金属、矿物及半导体器件等作显微成份分析的仪器。 它的基本工作原理是:首先在脉冲氙灯上加几千伏的高电压,由诱导电极激励,使氙灯脉冲放
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激光显微光谱仪是一台可供金属、非金属、矿物及半导体器件等作显微成份分析的仪器。 它的基本工作原理是:首先在脉冲氙灯上加几千伏的高电压,由诱导电极激励,使氙灯脉冲放电,在放电过程中,氙灯中的电能转换成辐射能。这一高强度的辐射,由抛物形反射镜聚焦在铷玻璃、红宝石等激光工作物质上,产生激光。由于激光的聚焦性好,功率密度大,可使样品上待分析的微区(10μ
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