【摘 要】
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柔性磨具加工是硬脆性材料获得精密表面的一种重要方法，而粗糙度是评价表面质量的一个重要参数。在硬脆性材料研磨过程中，由于材料的硬度高、脆性大以及磨具表面磨粒的随机性和多样性，使得对其研磨表面粗糙度的建模相对困难。本文通过分析磨粒与工件表面的作用过程，建立硬脆性材料柔性磨具加工表面粗糙度的理论预测模型。并选取橡胶结合剂金刚石研磨盘为柔性磨具，蓝宝石衬底为工件，在不同弹性模量、磨粒浓度、磨粒粒度和研磨压
【基金项目】
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国家自然科学基金海峡联合基金（U1805251）； 福建省区域发展项目（2019H4014）； 国家自然科学基金（51675192）；
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柔性磨具加工是硬脆性材料获得精密表面的一种重要方法，而粗糙度是评价表面质量的一个重要参数。在硬脆性材料研磨过程中，由于材料的硬度高、脆性大以及磨具表面磨粒的随机性和多样性，使得对其研磨表面粗糙度的建模相对困难。本文通过分析磨粒与工件表面的作用过程，建立硬脆性材料柔性磨具加工表面粗糙度的理论预测模型。并选取橡胶结合剂金刚石研磨盘为柔性磨具，蓝宝石衬底为工件，在不同弹性模量、磨粒浓度、磨粒粒度和研磨压力下开展研磨实验，将不同研磨条件下表面粗糙度的实验值与理论预测值进行了比较，实验结果与理论模型预测结果趋势一致，且预测误差在7.71%-10.1%范围内，验证了所建立的硬脆性材料柔性磨具加工表面粗糙度理论模型的可靠性。
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