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一、引言热脱附技术是研究固体表面吸附状态和吸附物结构的基本实验方法之一。利用热脱附谱仪(TDS)并配合其它谱仪对吸附系统(基底与被吸附气体)进行研究,可获得一系列表面物理信息〔1、2〕,如表面吸附态、脱附反应级数和频率因子,从而可进行表面结构研究以及了解吸附分子脱附的微观机理和吸附动力学过程等。热脱附技术还是研究表面化学中多相催化的有力工具。另外,在真空的获得和测量中,吸附和脱附是个重要的过程,因而它在真空中亦有广泛的应用。TDS测量的信号,一路是热电偶输出的样品表面温度信号,另一路是四极质谱计输