【摘 要】
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用扫描电镜（ＳＥＭ）和透射电镜（ＴＥＭ）对６种微波等离子体ＣＶＤ金刚石薄膜的表面形态和显微结构进行了研究．结果表明：在金刚石晶粒长大过程中，（１１１）面方向长大时产生密度很高的微孪晶缺陷，而（１００）面方向长大时产生
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用扫描电镜（ＳＥＭ）和透射电镜（ＴＥＭ）对６种微波等离子体ＣＶＤ金刚石薄膜的表面形态和显微结构进行了研究．结果表明：在金刚石晶粒长大过程中，（１１１）面方向长大时产生密度很高的微孪晶缺陷，而（１００）面方向长大时产生的晶体缺陷较少．
The surface morphology and microstructure of six kinds of microwave plasma CVD diamond films were studied by scanning electron microscopy (SEM) and transmission electron microscopy (TEM). The results show that when the direction of (111) plane grows, the densities of micro-twins with high density are generated during the growth of diamond grains, while the number of crystal defects produced when the (100) plane grows up is small.
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