可见光垂直腔面发射激光器的研制

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本文报道了一种工艺简单可靠、利用钨丝掩膜质子轰击(见Semicond.Sei.Technol.,1996,11∶1734~1736)方法制成的室温准连续运转可见光垂直腔面发射激光器。激射波长为660nm。外延片能带结构见图1。器件结构如图2。器件制作... In this paper, we report a near-continuous-operation visible-light vertical-cavity surface-emitting lasers with a simple and reliable process and the use of tungsten-mask proton bombardment (see Semicond.Sei.Technol., 1996, 11: 1734-1736). The lasing wavelength is 660 nm. Epitaxial energy band structure shown in Figure 1. Device structure shown in Figure 2. Device Production ...
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