【摘 要】
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本文对工作波长短于１０ｎｍ的软Ｘ射线多层膜正入射反射镜的国内外现状作了简单的介绍和分析，给出选择多层膜材料的一些原则，并结合本组情况选择了Ｒｕ／Ｂ４Ｃ、Ｒｈ／Ｂ４Ｃ和ＭＯ／Ｂ４Ｃ三种材料组，在波长８．０ｎｍ附近设计并计算出
【机 构】
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中国科学院长春光学精密机械研究所，应用光学国家重点实验室
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本文对工作波长短于１０ｎｍ的软Ｘ射线多层膜正入射反射镜的国内外现状作了简单的介绍和分析，给出选择多层膜材料的一些原则，并结合本组情况选择了Ｒｕ／Ｂ４Ｃ、Ｒｈ／Ｂ４Ｃ和ＭＯ／Ｂ４Ｃ三种材料组，在波长８．０ｎｍ附近设计并计算出多层膜的结构和反射率等性能参数。
In this paper, a brief introduction and analysis of the current situation both at home and abroad of soft X-ray multilayer mirrors with working wavelengths shorter than 10 nm are given. Some principles of selecting multilayer film materials are given. Combined with the present situation, the Ru / B4C, Rh / B4C and MO / B4C three materials in the vicinity of the wavelength of 8.0nm designed and calculated the multilayer film structure and reflectance and other performance parameters.
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