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1kW超高压汞灯电气控制系统

来源 :电子工业专用设备 | 被引量 : 0次 | 上传用户：hummerandy

【摘 要】

：

讨论了１ ｋ Ｗ 超高压汞灯电控系统的功率转换、恒功率闭环控制技术。 The power conversion and constant power closed-loop control technology of 1 k W ultra-high pressur

【作 者】

：

贾笑林 姚立新 郑武 

【机 构】

：

信息产业部电子第四十五研究所!甘肃平凉744000,信息产业部电子第四十五研究所!甘肃平凉744000,信息产业部电子第四十五研究所!甘肃平凉744000

【出 处】

：

电子工业专用设备

【发表日期】

：

1999年03期

【关键词】

：

超高压汞灯 电气控制系统 恒功率 闭环控制 半桥式 功率转换器 光刻机 灯室 高频变压器 光刻设备 

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讨论了１ ｋ Ｗ 超高压汞灯电控系统的功率转换、恒功率闭环控制技术。 The power conversion and constant power closed-loop control technology of 1 k W ultra-high pressure mercury lamp electric control system are discussed.

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