【摘 要】
：
本文重点介绍有关半导体及集成电路工业生产及相关科研教学单位中使用的工艺加工设备的：爵常运行管理与技术维护，内容涉及设备在生产总厂完成最终测试后的现场用户技术检验、设
【机 构】
：
北京大学微电子研究院微米／纳米加工技术国家重点试验室
论文部分内容阅读
本文重点介绍有关半导体及集成电路工业生产及相关科研教学单位中使用的工艺加工设备的：爵常运行管理与技术维护，内容涉及设备在生产总厂完成最终测试后的现场用户技术检验、设备的安装与调试程序（开箱检验与搬入、连接与安装、硬件调试与验收、工艺调试与验收、特殊工艺调试与验收）、设备在保修期内和保修期之外的技术维护等所有环节.明确给出在上述各时期用户与设备生产厂商双方权力与义务、具体工作内容、各项技术要求及相关管理内容，希望能够对从事与半导体及集成电路工艺加工设备相关工作的广大同行有一参考作用。，
其他文献
《红字》是美国著名文学家纳桑尼尔·霍桑的代表作,以其广泛的象征手法和心理描写著称,自出版以来便受到广大读者和学者的青睐。早在1930年初,《红字》便被译为中文引入中国
在人们印象中，公交站台的作用，主要是为乘客等候时，遮风挡雨。但徐州市在全国第一次使用了一种新型的太阳能公交站台，除了遮风挡雨，还能照明。
在今年10月份国家发改委、财政部、海关总署、国家税务总局联合发布的全国37家“国家认定企业技术中心”名单中，我市浙江阳光集团股份有限公司技术中心排名其中，成为全国惟一一
作为湖州市率先探索"现代学徒制"的学校之一,浙江信息工程学校以烹饪、机电两大专业为重点,试点了湖州"334"现代学徒制人才培养模式。本文阐述了从现代学徒制人才培养模式中
芬欧蓝泰日前面向北美市场推出了新型的数码印刷标签材料系列，该材料已经获得了惠普HPlndigo材料认证项目的认证，可以应用在HPIndig0的WS4500、WS4600、WS6000和WS6600等数码印
研究了离子交换色谱法同时测定水果中乳酸、草酸、酒石酸、柠檬酸和苹果酸含量的条件,并对分离条件进行了优化,在流速为1mL/min的0.8~30mmol/L KOH淋洗液梯度洗脱下,5种有机
在《通鉴·外纪》中说：＂姓者统其祖考之所自出,氏者别其子孙之所自分。＂《通志·氏族略》曰：＂三代（夏商周）以前,姓氏分而为二,男子称氏,妊人（女子）称姓。氏所以别贵贱,贵者有
对高强度聚焦超声治疗子宫肌瘤的多种影像学方法进行讨论。多种影像学检查手段相互结合，可提高诊断的正确率。
大学英语分级教学是指根据大学生英语的不同层次,使用不同的英语教学方法,制定不同的英语教学目标和教学方案,进行不同的英语教学内容,实施不同的学生管理制度和评价模式,在
高校网页简介作为学校对外宣传的一张名片,广泛而深远地影响着该校对外形象的树立。一份规范合理的高校网页简介,不仅能为想要了解该所学校的外国友人提供有效信息和正确引导