金属和介质组合的双半波滤光片的设计和制备

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前言用一层金属膜代替全介质双半波滤光片中两间隔层之间的反射膜,组成了介质多层膜|间隔层|金属膜|间隔层|介质多层膜这样的混合结构。这种组合的滤光片中,介质多层膜和间隔层实质上是金属膜的减反射膜,使金属膜对于中心波长λ_0的反射率减至接近于零。因而波长λ_0的透射率可增至80%左右,同时这组减反射膜对波长变化很敏感,稍一偏离中心波长,其减反射特性就减退,使透射率下降,这样使形成了一通带轮廓,在通带的两侧,多层介质膜系增进了金属膜的反射率,因此仍然保持着金属膜的宽反射区。理论计算表明,中心波长的位置,主要决定于两间隔层的厚度,两间隔层厚度的一致性对滤光片的峰值透射率,通带形状和半宽度有 Preface The replacement of the reflection film between two spacers in the half-wave filter of the whole medium with a metal film constitutes a hybrid structure such as a dielectric multilayer film, a spacer layer, a metal film, a spacer layer and a dielectric multilayer film. In such a combined filter, the dielectric multilayer and the spacer are essentially anti-reflective films of the metal film so that the reflectance of the metal film for the central wavelength λ_0 is reduced to near zero. So the wavelength λ_0 transmittance can be increased to about 80%, while the group of anti-reflective film is very sensitive to wavelength changes, slightly off the center wavelength, its antireflection properties diminish, the transmittance decreased, so that the formation of a passband profile On both sides of the passband, the multi-layer dielectric film enhances the reflectivity of the metal film and thus still retains the wide reflective area of ​​the metal film. Theoretical calculations show that the central wavelength of the location, mainly determined by the thickness of the two compartments, the consistency of the thickness of the two layers of the filter peak transmittance, the passband shape and half width
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