【摘 要】
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新型Helios G4等离子聚焦离子束(FIB)系统,是赛默飞最新一代的双束显微镜,可对各类半导体器件进行逆向剥层处理,并提供超高分辨率扫描电子显微镜(SEM)分析。Helios G4具有从
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新型Helios G4等离子聚焦离子束(FIB)系统,是赛默飞最新一代的双束显微镜,可对各类半导体器件进行逆向剥层处理,并提供超高分辨率扫描电子显微镜(SEM)分析。Helios G4具有从快速剥层、扫描电子显微镜截面成像到透射电子显微镜样品制备在内的多种功能。FIB
The new Helios G4 plasma focused ion beam (FIB) system, the newest generation of Thermo Scientific dual-beam microscopes, provides reverse-delaminating of various semiconductor devices and provides ultra-high-resolution scanning electron microscopy (SEM) analysis. The Helios G4 has many features ranging from rapid delamination, scanning electron microscopy cross section imaging to TEM preparation. FIB
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