【摘 要】
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从AES谱峰强度公式,我们导出了吸附层厚度和剥离速率表达式。并利用这些公式计算了A1样品表面吸附C和氧化铝层的厚度以及Ar~+束对它们的剥离速率。
From the AES peak inten
【机 构】
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北京大学无线电电子学系,北京大学无线电电子学系,
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从AES谱峰强度公式,我们导出了吸附层厚度和剥离速率表达式。并利用这些公式计算了A1样品表面吸附C和氧化铝层的厚度以及Ar~+束对它们的剥离速率。
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