【摘 要】
：
绝缘体上硅(SOI)压阻式压力传感器理论工作温度可达450℃,但传统的器件在高温、振动以及高腐蚀环境中电连接容易失效.开展基于无引线倒装式封装芯片方法的研究.首先,在完成SOI压力传感器芯片制备的基础上,提出了基于阳极键合工艺和玻璃通孔填充(TGV)工艺的倒装式封装方案;其次,研究带有图形的硼硅玻璃和SOI阳极键合工艺,以及基于电镀工艺的通孔金属填充工艺,并对键合强度、键合界面、金属填充效果以及电连接性能进行测试;最后,针对封装好的芯片在常温环境下进行传感器气密性、电连接性能、线性度以及重复度等性能进行测
【机 构】
：
中北大学仪器与电子学院仪器科学与动态测试教育部重点实验室,山西太原030051
论文部分内容阅读
绝缘体上硅(SOI)压阻式压力传感器理论工作温度可达450℃,但传统的器件在高温、振动以及高腐蚀环境中电连接容易失效.开展基于无引线倒装式封装芯片方法的研究.首先,在完成SOI压力传感器芯片制备的基础上,提出了基于阳极键合工艺和玻璃通孔填充(TGV)工艺的倒装式封装方案;其次,研究带有图形的硼硅玻璃和SOI阳极键合工艺,以及基于电镀工艺的通孔金属填充工艺,并对键合强度、键合界面、金属填充效果以及电连接性能进行测试;最后,针对封装好的芯片在常温环境下进行传感器气密性、电连接性能、线性度以及重复度等性能进行测试,进一步验证无引线倒装式封装方法的可行性和有效性.
其他文献
研究了一种IWR1443毫米波雷达传感器的室内人员定位的方法.给出了雷达信号处理的实现方案,提出了一种基于二维最大选择单元平均恒虚警(GO-CA-CFAR)检测的算法,解决了室内环境中调频连续波(FMCW)雷达回波信号存在的动态多径问题.实验结果表明,该系统的平均定位误差为0.123 m,能够有效地实现室内人体定位及轨迹重现.
独立微电网可用的调节措施和能力有限.在这种背景下,本文提出了一种用于光伏模块的新数学模型以及用于高效能量提取的新控制技术.光伏组件采用单级转换方法将其与电网集成.使用了三相电压源转换器以获得最大的光伏发电功率.使用了最大功率点跟踪(MPPT)方案以获得特定辐照度下的最大功率.针对直流环节电压控制,提出了模糊逻辑控制和基于自适应网络的模糊推理系统.通过与光伏组件的标准功率-电压和电流-电压图的比较,验证了所提出的模型和控制方案.仿真结果表明,与MPPT系统相比,该方案在电网和孤岛模式下系统能够保持稳定.“,
基于荧光猝灭原理,提出了一种基于双光源相关检测算法的溶解氧浓度检测技术。采用双光源的光路结构,增加了抗干扰能力,改进了荧光寿命的检测算法,简化了计算的复杂度。基于Stern-Volmer方程,使用多项式运算法则反演水中氧分压,结合温度和盐度校正最终获得水体中溶解氧浓度。实验结果表明:在0～20 mg/L的测量范围内,实际测量误差小于0.1 mg/L;交替放置在饱和水和无氧水中,反应浓度升高和浓度降
针对人脸识别技术实际应用中存在着网络参数冗余、模型计算量大及人脸推理过程慢等问题,本文通过对卷积神经网络(CNN)的结构设计和损失函数进行了研究,提出了一种基于深度可分离卷积和全局平均池化技术的Small-FRNet卷积神经网络模型。相比于传统的卷积神经网络,模型采用深度可分离卷积和全局平均池化技术,有效地降低了网络的参数和计算量。同时,通过联合SoftMax损失和中心损失作为监督信号对损失函数进
铺缆船用电缆埋设犁是用于海底电缆铺设的专用装备.在铺缆船拖绳提供的拖曳力作用下,电缆埋设犁在海底实现边挖沟边铺设电缆.电缆埋设犁在工作过程中,受力情况非常复杂.为了保持电缆埋设犁行进过程中能有效挖掘海底土壤和稳定性,需要对埋设犁工作过程中的整机受力情况及铺缆船的拖绳受力情况进行综合分析与研究.该文以某型深水埋设犁挖掘工况为实例,从埋设犁整机受力情况入手,对埋设犁整机受力和铺缆船拖曳力相互关系及影响进行分析,为合理选用拖绳和确定参数,更好地保证电缆埋设犁顺利进行水下挖沟铺缆作业提供理论依据.
针对将粘接胶视为弹性材料建立的封装模型不能完全反映粘接胶材料特性与加载历史、时间和温度之间关系的问题,研究了粘接胶的粘弹性对硅微谐振式加速度计热应力的影响.首先,对粘接胶材料进行动态力学测试,得到粘接胶材料本构模型.其次,建立加速度计封装有限元模型,研究粘接胶松弛模量和热膨胀系数以及循环温度载荷对芯片结构应力的影响.研究结果表明:粘接胶材料参数、温度载荷与时间均会影响温度应力,低松弛模量与热膨胀系数接近于被粘接材料的粘接胶能够降低结构中的热应力,同时能够降低时间和多次循环温度载荷对应力的影响.
针对当前晶圆测试探针常用的两种金属材料镍和钨,采用COMSOL多物理场仿真软件对微机电系统(MEMS)悬臂梁探针在承受20 mN测试力时,悬臂梁结构的最大应力和针尖位移进行分析.仿真结果表明:两种材料悬臂梁结构的最大应力都发生在靠近悬臂梁固支端的表面,大小基本相同.但镍探针位移要明显大于钨探针.在此结果的基础上,对梁结构进行改进,又提出了一种新型的梯形悬臂梁结构,在承受相同测试力时,针尖位移增加20％.利用这一结构,在保证力学性能的同时,可以缩小悬臂梁尺寸,以满足更为密集管脚芯片的测试需求.
针对海上两船并行航行的自动航行控制模型试验需求,专门研制了基于六自由度光学系统的基于自动控制的模型测试平台.文章阐述了该测试平台的组成、功能和使用方法,并分析其相比于传统测试设备的特色和优势.利用该测试平台在中国船舶及海洋工程设计研究院(MARIC)大型拖曳水池中开展了两船并行航行模型试验,验证该测试平台的有效性.该项研究为自动航行控制技术在海上两船并行航行中的应用奠定了扎实的基础,并为此类先进测试平台的研发提供参考.
针对微机电系统(MEMS)加速度计标定参数难以快速、高精度标定的工程问题,提出一种基于Kalman滤波的加速度计误差标定方法.设计基于重力场的多位置分立式标定路径,快速标定出MEMS加速度计标度因数、安装误差和零偏;并以此作为Kalman滤波的初始值,建立以速度误差为观测量的Kalman滤波方程,估计多位置分立式标定参数误差,修正多位置分立式标定结果.实验结果表明:标定方法可降低MEMS加速度计测量误差,加速度计三轴测量精度分别提高13％,24％,22％.
针对目标检测中广泛的尺度变化所带来的问题,提出一种基于多级特征金字塔网络的一级目标检测方法。以SSD算法模型为基础,将主干网络提取的特征融合为基础特征,将基础特征送入设计的一个交替连接的U型模块和特征融合模块中,从每个U型模块输出的特征进行尺度特征聚合,用来构造一个多级特征金字塔网络用于最终的目标检测。该方法在MS COCO数据集和PASCAL VOC数据集上进行了仿真,实验结果表明,该算法优于目