【摘 要】
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一个好的压缩空气系统设计对于半导体芯片厂是非常重要的。这篇论文主要是介绍压缩空气系统的设计思路。本文主要讲述一下内容:总体目标、气体要求、扩充策略、维护保养、空
【机 构】
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中芯国际集成电路制造(天津)有限公司,
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一个好的压缩空气系统设计对于半导体芯片厂是非常重要的。这篇论文主要是介绍压缩空气系统的设计思路。本文主要讲述一下内容:总体目标、气体要求、扩充策略、维护保养、空气流通、气体品质与压力、系统中的压力损失、系统框架等。
A good compressed air system design is very important for the semiconductor chip plant. This paper mainly introduces the design idea of compressed air system. This article focuses on the content: overall objectives, gas requirements, expansion strategies, maintenance, air circulation, gas quality and pressure, the system of pressure loss, the system framework.
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