【摘 要】
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首先使用有限元分析方法求解磁控溅射电磁场的分布,然后结合受力分析,仿真了单电子运动轨迹并较好地呈现螺旋形状,同时模拟出多粒子束的靶面位置分布以及刻蚀形貌图,最后把计
【机 构】
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电子科技大学,光电信息学院,电子薄膜与集成器件国家重点实验室,
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首先使用有限元分析方法求解磁控溅射电磁场的分布,然后结合受力分析,仿真了单电子运动轨迹并较好地呈现螺旋形状,同时模拟出多粒子束的靶面位置分布以及刻蚀形貌图,最后把计算结果与实验中靶面刻蚀形貌进行对比,所求结果与实验测量数据吻合。
Firstly, the distribution of magnetron sputtering electromagnetic field was solved by using finite element method. Then, combined with force analysis, the trajectory of single electron was simulated and the helical shape was well presented. Simultaneously, the distribution of target surface of multiparticle beam Finally, the calculated results are compared with the etching morphology of the target surface in the experiment, and the result is in good agreement with the experimental measurement data.
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