化学汽相沉积TiN-TiC涂层耐磨性研究

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化学汽相沉积(Chemical Vapor Deposition,简称 CVD)是利用某些气体在高温下的固体表面进行化学反应,生成涂层。将一些硬度高、化学稳定性好的陶瓷材料沉积到硬质合金、工具钢等材料表面,制备涂层,已成为当前重要的发展技术之一。1 沉积过程1.1预处理 通用拉丝模是由韧性较好的 Chemical vapor deposition (Chemical Vapor Deposition, referred to as CVD) is the use of certain gases at high temperature solid surface chemical reaction, the formation of coatings. It has become one of the most important development technologies to deposit some ceramic materials with high hardness and good chemical stability onto the surface of cemented carbide, tool steel and so on. 1 deposition process 1.1 pretreatment drawing die is generally toughness better
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