真空器件中的气体环境控制对维持其高寿命、高可靠性、高精度的具有重要意义。采用吸气剂吸收活性气体可以有效地维持器件内部真空状态,本文通过进行材料微成分、微结构优化,提升吸气剂在复杂气氛环境下的适用性,实现真空器件内微量气体的选择性控制。本文采用定压法对Ti-Mo、ZrVFe与TiZrV三种常用吸气材料的气体选择性吸收性能进行分析,选择化学镀对Ti-Mo粉体进行表面改性,经粉末冶金压制和热处理烧结工艺制备Ni/Ti-Mo吸气材料,通过混粉烧结与熔炼两种方法制备Al-ZrVFe吸气材料。具体研究内容如下:（1）通过分析Ti-Mo、ZrVFe与TiZrV三种吸气材料对H2、N2、CO和CH4的吸收性能发现,三种吸气材料均表现出对H2、CO、N2、CH4四种气体的吸收能力依次降低,其中,ZrVFe对四种气体吸收性能最差,TiZrV与Ti-Mo具有相近的非氢气体吸收性能,TiZrV具有最佳的H2吸收性能。（2）通过化学镀有效地实现了 Ni对Ti-Mo粉体的包覆,通过优化化学镀工艺,在施镀时间为45 min时,Ti-Mo粉体表面Ni包覆率高,且游离单质Ni含量少,膜层厚度约为1.5 μm,为最佳工艺参数。包覆后Ni/Ti-Mo粉体经压制与870℃热处理后,表面Ni膜与Ti颗粒最外层互扩散形成Ti2Ni相,与未改性Ti-Mo样品相比,在10 min时吸H2速率提高了 34%,吸O2速率下降了 54%,2 h时吸H2量提高了 37%,吸O2量下降了 22%,表现出良好的透氢阻氧能力。（3）通过混粉烧结与熔炼两种方法制备了 Al-ZrVFe吸气材料,采用混粉烧结法制备的Al-ZrVFe存在部分单质Al,降低了对H2、N2的气体吸收性能。采用熔炼法制备的Al-ZrVFe材料中Al以合金相存在,随Al添加量增加,材料主相由Zr+Zr（VaFe1-a）2向Zr2Al+Al3V相逐渐转变,其中以Zr（VaFe1-a）2+Zr2Al相为主的熔炼5 wt.%Al-ZrVFe吸气剂比以Zr+Zr（VaFe1-a）2相或Zr2Al相为主相的熔炼Al-ZrVFe吸气剂,具有更好的吸H2、N2性能,相比熔炼ZrVFe吸气剂,熔炼5 wt.%Al-ZrVFe吸气剂10 min时对混气（77 vol.%H2+23 vol.%N2）的吸气速率提升了 70%,2 h时的吸气总量提升了 73%。