输入整形算法是一种作用在控制系统输入端的前馈控制算法,由于组成简单、不影响系统性能,输入整形算法在高精度定位系统领域应用广泛。遗传算法是一种在生物进化和生物遗传原理的基础上发展起来的优化算法,由于其原理简单、计算量小、适用性强,能够应用于许多参数优化和数据挖掘中,因此本文将两种方法相结合用于X-Y精密平面运动台的振荡抑制。首先介绍了X-Y精密运动控制平台工作原理以及永磁同步电机矢量控制原理,使用Matlab中的Simulink搭建了平台中永磁同步直流电机的位置控制模型,并进行了PI参数整定。分别进行了单轴和双轴位置跟踪对比实验,测量系统跟踪误差超调量以及调节时间等性能指标,对实验结果进行分析。随后通过采集系统输入输出数据点,使用Matlab中的System identification工具箱对仿真系统传递函数进行辨识。其次介绍了输入整形算法的原理以及输入整形器的分类。根据电机模型计算出两种输入整形器参数,在电机三环控制系统中分别搭建零振荡输入整形器（ZV）、零振荡微分输入整形器（ZVD）,对加入两种输入整形器的电机三环控制系统分别进行单轴和双轴位置跟踪控制对比实验,根据实验结果分析两种输入整形器的性能,综合现实需求,本课题选择ZV输入整形器作为控制模型的开环振荡抑制器件。针对输入整形器对系统依赖度过高的问题,设计了一种基于遗传算法的输入整形器参数优化的方法,介绍了遗传算法的流程,编写了遗传算法优化器Matlab程序,并在Simulink中与控制模型进行连接。实验结果表明,当系统模型比较模糊时,通过遗传优化输入整形器的参数具有较好的效果,证明了遗传算法在优化输入整形器的可行性。最后进行X-Y精密平面运动台的实验,先对X-Y平台的传递函数进行辨识,根据辨识结果搭建ZV输入整形器,然后加入遗传算法优化器进行单轴和双轴位置控制对比试验,验证了输入整形器在X-Y精密平面运动台中具有振荡抑制的效果,证明了基于遗传算法的输入整形器优化方法在X-Y精密平面运动台上的可行性。