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近年来,随着真空技术的飞速发展及相关领域需求的提高,人们开始研制各种能够代替高真空机组工作的高真空直排大气干泵。近几年,国外已经出现了仅用一台泵就可以实现从高真空到大气的全部抽气过程的高真空直排大气干泵,并实现了商业化,已经应用于实际生产中,而在国内这种类型的干泵还处于空白状态。本文介绍了高真空干泵的结构组成、工作原理,并对真空泵的几种型线做了比较,最终的螺旋级转子选用了一种比较特殊的型线。同时对螺旋级转子内部流动特性用蒙特卡洛法进行了模拟研究。目前,在对稀薄气体进行模拟的方法中,直