【摘 要】
：
随着科学研究从宏观领域转到微观领域,人们对定位系统的定位精度的要求也从毫米级逐渐进入到了微米级甚至纳米级。目前,纳米级高精度MEMS定位系统已广泛应用于精密机械、超精密加工、生物工程、集成电路制造、医疗科学等领域。采用梳齿静电驱动的纳米级微定位平台具有效率高、精度高、不发热、响应速度快等优点,在光学、生物学等领域得到应用。但是该类型的定位平台所需的驱动电压较高,且梳齿静电驱动器的定齿与动齿有产生黏
论文部分内容阅读
随着科学研究从宏观领域转到微观领域,人们对定位系统的定位精度的要求也从毫米级逐渐进入到了微米级甚至纳米级。目前,纳米级高精度MEMS定位系统已广泛应用于精密机械、超精密加工、生物工程、集成电路制造、医疗科学等领域。采用梳齿静电驱动的纳米级微定位平台具有效率高、精度高、不发热、响应速度快等优点,在光学、生物学等领域得到应用。但是该类型的定位平台所需的驱动电压较高,且梳齿静电驱动器的定齿与动齿有产生黏附效应(pull-in)的危险等缺点,因此梳齿静电驱动定位平台对控制器具有较高的要求。本文将针对梳齿静电
其他文献
随着世界各国对能源和环境问题的持续关注，可再生能源的开发利用正呈现出加速发展的趋势。太阳能作为一种可再生资源，是人类可直接利用的清洁能源之一，因此开发利用太阳能具有重
在深空探测技术迅速发展的今天,星球巡视器在整个深空探测领域中所发挥的作用将是不可或缺的按照国际惯例,巡视器发射前必须在地面上检验其动力性能是否能够满足实际的要求。
交通视频监控系统通过从交通监控视频中捕获目标、提取目标信息并进行分析处理达到对城市交通的监控管理。本文主要对智能交通监控系统的架构进行了研究,对系统中涉及的图像
随着计算机技术和网络技术的发展,电力系统自动化软件日趋组件化、网络化,从而推动了IEC61970系列标准的发展。由于电网规模逐渐增长,电网结构日趋复杂,对电网的安全稳定和控
主动隔振技术是隔振领域的一个亮点,是人类对生产和生活要求提高的产物。由于其具有效果好、适应性强等潜在的优越性,已成为一条重要的振动控制新途径,可应用于航天结构振动控制、土木工程结构抗震、高速车辆隔振及其他机械设备振动控制等领域。控制器的设计是振动主动控制技术的核心环节。因此对其控制策略的研究具有重要的理论价值和现实意义。主动隔振又叫有源隔振。主要思想是,通过引入次级通路,在外部附加能源和控制策略的
合成孔径雷达是自上世纪五十年代逐步发展起来的一种雷达成像技术,其高分辨率的成像能力,全天时、全天候的工作模式,多波段、多极化的发展趋势,促使其在民用、军用领域得到了
计算机视觉技术作为自动控制系统的信息获取方式是当前自动化技术领域的一个热点,其主要原因是视觉可以承载更多的信息。但是,视觉信息复杂、数据量大、有效特征提取困难,这
建筑能耗,是当今社会的热点问题之一。随着计算机信息技术在楼宇能源管理上的运用,楼宇能源管理系统在建筑节能领域得到了广泛应用。论文以大型公共建筑为背景,系统研究了基
随着人民生活水平的提高,驾车出行的活动日益频繁,由此带来的堵车以及因城市道路建设复杂化引起的迷路等城市交通问题成为一个亟待解决的重要课题。车载导航系统在改善城市交
我国风力发电产业近年来发展迅猛，并网容量也在逐渐增大，在电网中所占的比例也在逐年增加。单个风机容量也在不断增大从原来的1MW发展到5MW，6MW风机今年6月份在华锐风电正式下线。变速恒频并网方式逐渐取代传统的恒速恒频并网，变速恒频主要包括两大主流机型，即双馈感应风力发电机组和直驱永磁同步发电机组。本文主要对双馈感应风力发电机组进行了详细的描述。首先对风轮进行了阐述，风轮吸收的功率主要取决于风速，风